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真空高温梯度加热台
一、概述
真空高温梯度加热台,使用两片氮化硼绝缘加热片,对指定长条型金属样品两端分别进行加热,并使样品两端达到不同温度,同时加热回路与样品间具有一定绝缘性。另外包含一个加热测试真空室。
二、技术参数要求
可安装金属样品尺寸:14*6*1mm
加热台工作环境:真空环境,真空度好于1*10-4Pa
加热要求:中心6mm长度区域内形成温差,在该区域的两端分别安装热电偶进行测温,并能够分别进行温度控制:一端为700℃,另一端为400℃。
加热台外形:尺寸不大于100*100*100mm。金属样品正面无遮挡,不影响束流及红外测温。
加热台输入电流/电压要求:直流,电压不超过40V。
加热台底座带真空水冷台,水冷台尺寸不超过160*120*30mm。
绝缘要求:在达到上述要求温度时,加热回路对样品的漏电流小于1微安。
氮化硼绝缘加热片:电阻小于10欧,600℃以下漏电流小于10nA,*高工作温度1500℃,*大功率不小于200W,附带2个50mm长M2的Ta电极螺杆,以及4个M2的Ta螺母。
加热测试真空室:真空室腔体尺寸不小于300mm*200mm*130mm,壁厚不小于8mm。上盖板采用O圈密封,两侧具有CF100法兰接口及CF80法兰接口。CF80法兰可与CF80真空插板阀连接,CF100法兰盖板焊接2个水冷管路接口。真空室侧壁上具有1个高真空BNC连接器及1个14芯真空密封航空插头。真空室漏率好于1*10-9Pa*m3/s。
供货方依据以上技术参数进行设计及加工制作。